SJT 31153-1994 超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法
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921BA800AD15439898F6D8FEA71ECEFD |
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文件大小(MB)： |
0.22 |
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2 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31153—94,超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了超高真空无油排气设备的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于超高真空无油排气设备,2完好要求,2.1 主要性能指标,2.1.1 内真空系统极限压强:3X10-7Pa；,抽气速率:70〇.10001/s,2.1.2 外真空极限压强:lPa0,2.1.3 加热温度：450.680C;升温时间:30 士 3min,加热功率:2.6kW;自动恒温:优于5%,2.2 操作系统,2.2.1 各操作开关、按钮启动灵活,定位可靠,标志明显,2.2.2 各制动、限位装置齐全,灵敏、可靠,2.2.3 被除气エ件上、下排气エ位方便、安全,且不影响真空系统精度,2.3 传动系统,2.3.1 钟罩升降自如、轻便,限位准确、功能可靠;钟罩运行过程平稳、安全,不得有振动,冲击,现象,2.3.2 各传动装置零、部件无松动、脱落现象,传动平稳,声响正常,无异常噪音和抖动,2.4 真空系统,2.4.1 排气台所用复合泵或离子升华泵、带挡油阱的机械泵,其技术性能指标应达到排气台,技术性能要求。复合离子泵、机械泵的完好要求,按单项完好要求执行,2-4.2超高真空阀门和管道的密封性好,联接牢固,管道整齐、畅通,无泄漏,阀门启闭灵活、,可靠,2.4.3 钟罩内加热系统升温均匀,温度控制系统工作正常,2.5 电气系统,2. 5.1电器性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效,2.5.2 电源启动、关闭灵敏、安全、可靠,指示齐全、准确、清晰,2.5.3 线路整齐,绝缘层无破裂、老化,漏电现象,2.5.4 加热系统运行正常,冷却水保护装置灵敏、可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,1,SJ/T 31153-94,2.6附属装置,2 . 6.1气路、冷却水供应系统全部装置应整齐、清洁,运行正常,2 .6.2各种仪表性能灵敏,指示准确,有有效期内校验合格证,2.7 安全防护,2.7.I 各种安全防护装置齐全、完整、有效,2.7.2 设备接地（或零）可靠,标志明显,2. 7.3各种报警装置性能灵敏、可靠,2.8 维护保养,2. 8.1设备停止工作时,内真空系统绝不能暴露于大气,应保证内真空具有一定真空度,2. 8.2其他按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检査、评定方法,3.1 检査方法,3.1.1 性能指标运用真空计、热电偶、秒表等仪表检测,3.1.2 对各系统完好要求,一般采用主观法在设备现场检査,3.2 评定方法,3. 2.1 完好要求中,2.1.1~2.1. 3.2. 2. 2,2. 4.1-2. 4. 3,2. 7. 1~2. 7. 3 为主要项目，其余为,次要项目,3.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3 完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出〇,本标准由国营南京电子管厂组织起草,本标准主要起草人:赵志民,2……
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